112 高普考高考二級 電子工程 電子元件 考古題詳解

112 年・高普考・高考二級・電子工程
試題代碼 電子元件

第 一 題6 分

某矽晶體材料均勻摻雜濃度為 5×1013 cm−35\times 10^{13}\ \mathrm{cm}^{-3} 硼(B)原子。已知常溫(300 K300\ \mathrm{K})下矽的本質載子濃度為 ni=1.5×1010 cm−3n_i=1.5\times 10^{10}\ \mathrm{cm}^{-3},q=1.6×10−19 Cq=1.6\times 10^{-19}\ \mathrm{C},電子與電洞的位移率(mobility)分別為 μn=1350 cm2/(V⋅s)\mu_n=1350\ \mathrm{cm^2/(V\cdot s)} 及 μp=480 cm2/(V⋅s)\mu_p=480\ \mathrm{cm^2/(V\cdot s)}。於熱平衡時,請求出:

(一)電洞濃度 p0p_0 及電子濃度 n0n_0。

(二)該材料的電阻率(resistivity)。

(三)照光下均勻產生電子與電洞,Δn=Δp=1016 cm−3\Delta n=\Delta p=10^{16}\ \mathrm{cm}^{-3}。於穩態下假設位移率不變,求該材料之導電率(conductivity)。

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核心觀念

硼是矽中的三價受體雜質,摻入後形成 P 型半導體。熱平衡時需同時使用質量作用定律與電中性條件:

n0p0=ni2n_0p_0=n_i^2

假設硼受體完全游離,且題目未給補償摻雜,則電中性條件為:

p0−n0=NAp_0-n_0=N_A

其中 NA=5×1013 cm−3N_A=5\times10^{13}\ \mathrm{cm}^{-3}。電阻率由電導率的倒數求得;照光產生載子後,電子與電洞的總濃度都須納入導電率計算。

解題方法

(一)求熱平衡載子濃度

聯立

p0−n0=NA,n0p0=ni2p_0-n_0=N_A,\qquad n_0p_0=n_i^2

以 p0=n0+NAp_0=n_0+N_A 代入質量作用定律,可得:

n0(n0+NA)=ni2n_0(n_0+N_A)=n_i^2

n02+NAn0−ni2=0n_0^2+N_An_0-n_i^2=0

取正根:

n0=−NA+NA2+4ni22n_0=\frac{-N_A+\sqrt{N_A^2+4n_i^2}}{2}

代入 NA=5×1013N_A=5\times10^{13}、ni=1.5×1010 cm−3n_i=1.5\times10^{10}\ \mathrm{cm}^{-3}:

n0=−5×1013+(5×1013)2+4(1.5×1010)22≈4.50×106 cm−3n_0=\frac{-5\times10^{13}+\sqrt{(5\times10^{13})^2+4(1.5\times10^{10})^2}}{2} \approx 4.50\times10^6\ \mathrm{cm}^{-3}

再由電中性條件:

p0=NA+n0≈5.00000045×1013 cm−3≈5.00×1013 cm−3p_0=N_A+n_0\approx5.00000045\times10^{13}\ \mathrm{cm}^{-3} \approx5.00\times10^{13}\ \mathrm{cm}^{-3}

(二)求電阻率

熱平衡下的電導率為電子與電洞兩者貢獻之和:

σ0=q(n0μn+p0μp)\sigma_0=q(n_0\mu_n+p_0\mu_p)

代入題目數值:

σ0=(1.6×10−19)[(4.50×106)(1350)+(5.00×1013)(480)]\sigma_0=(1.6\times10^{-19}) \left[(4.50\times10^6)(1350)+(5.00\times10^{13})(480)\right]

電子項遠小於電洞項,因此:

σ0≈3.84×10−3 S/cm\sigma_0\approx3.84\times10^{-3}\ \mathrm{S/cm}

電阻率為:

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第 二 題5 分

矽 pnpn 二極體已知 pp 區的摻雜 NA=2×1014 cm−3N_A=2\times 10^{14}\ \mathrm{cm}^{-3},nn 區的摻雜 ND=6×1014 cm−3N_D=6\times 10^{14}\ \mathrm{cm}^{-3}。常溫下 kT/q=0.0259 VkT/q=0.0259\ \mathrm{V},ni=1.5×1010 cm−3n_i=1.5\times 10^{10}\ \mathrm{cm}^{-3},q=1.6×10−19 Cq=1.6\times 10^{-19}\ \mathrm{C},電子與電洞的位移率(mobility)分別為 μn=1350 cm2/(V⋅s)\mu_n=1350\ \mathrm{cm^2/(V\cdot s)} 及 μp=480 cm2/(V⋅s)\mu_p=480\ \mathrm{cm^2/(V\cdot s)},且 D/μ=kT/qD/\mu=kT/q。假設 pp 區電子與 nn 區電洞的少數載子壽命均為 τn=τp=1 μs\tau_n=\tau_p=1\ \mu\mathrm{s},忽略空乏區內額外的載子復合與產生機制,請求出:

(一)於順偏壓 VF=0.1 VV_F=0.1\ \mathrm{V} 下,在 pp 區的空乏區寬度 WpW_p 相對於 nn 區的空乏區寬度 WnW_n 之比例 Wp/WnW_p/W_n。

(二)於順偏壓 VF=0.1 VV_F=0.1\ \mathrm{V} 下,在 WnW_n 處的電洞濃度相對於熱平衡時之比例 pn(x=Wn)/pn0p_n(x=W_n)/p_{n0}。

(三)於順偏壓 VF=0.1 VV_F=0.1\ \mathrm{V} 下,在 nn 區相對於熱平衡多出的電洞濃度分布,於 x≥Wnx\geq W_n 區域之 Δpn(x)\Delta p_n(x) 表示式。

(四)於順偏壓 VF=0.1 VV_F=0.1\ \mathrm{V} 下,在 WnW_n 處的電洞電流密度 Jp(x=Wn)J_p(x=W_n)。

(五)於反偏壓 VR=8 VV_R=8\ \mathrm{V} 下,元件之空乏區寬度 WW。

(六)於反偏壓 VR=8 VV_R=8\ \mathrm{V} 下,在 pp 區的電子擴散長度(diffusion length)LnL_n 相對於在 nn 區的電洞擴散長度 LpL_p 之比例 Ln/LpL_n/L_p。

(七)於反偏壓 VR=8 VV_R=8\ \mathrm{V} 下,元件之電流密度 JsJ_s。

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核心觀念

本題考查突變型矽 pnpn 接面在理想二極體近似下的空乏區、少數載子注入與擴散電流。所用關係式如下:

  • 空乏區電荷中性:NAWp=NDWnN_AW_p=N_DW_n。
  • 熱平衡少數載子濃度:np0=ni2/NAn_{p0}=n_i^2/N_A、pn0=ni2/NDp_{n0}=n_i^2/N_D。
  • 正向偏壓下,接面邊界的少數載子濃度乘上 exp⁡(VF/VT)\exp(V_F/V_T),其中 VT=kT/qV_T=kT/q。
  • 擴散係數與擴散長度:D=μVTD=\mu V_T、L=DτL=\sqrt{D\tau}。
  • 突變接面空乏區寬度: W=2εSiq(1NA+1ND)(Vbi+VR)W=\sqrt{\frac{2\varepsilon_{\mathrm{Si}}}{q}\left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)(V_{bi}+V_R)} 其中 Vbi=VTln⁡(NAND/ni2)V_{bi}=V_T\ln(N_AN_D/n_i^2)。
  • 理想二極體反向飽和電流密度: Js=qni2(DpLpNA+DnLnND)J_s=q n_i^2\left(\frac{D_p}{L_pN_A}+\frac{D_n}{L_nN_D}\right)

採用矽的介電常數 εSi=11.8ε0\varepsilon_{\mathrm{Si}}=11.8\varepsilon_0,ε0=8.854×10−14 F/cm\varepsilon_0=8.854\times10^{-14}\ \mathrm{F/cm}。

解題方法與計算

(一)空乏區寬度比例 Wp/WnW_p/W_n

由空乏區內正、負電荷量相等:

NAWp=NDWnN_AW_p=N_DW_n

因此

WpWn=NDNA=6×10142×1014=3\frac{W_p}{W_n}=\frac{N_D}{N_A} =\frac{6\times10^{14}}{2\times10^{14}}=\boxed{3}

(二)WnW_n 處的電洞濃度比例

nn 區熱平衡少數電洞濃度為

pn0=ni2ND=(1.5×1010)26×1014=3.75×105 cm−3p_{n0}=\frac{n_i^2}{N_D} =\frac{(1.5\times10^{10})^2}{6\times10^{14}} =3.75\times10^5\ \mathrm{cm^{-3}}

順向偏壓下,接面邊界的電洞濃度為 pn(Wn)=pn0exp⁡(VF/VT)p_n(W_n)=p_{n0}\exp(V_F/V_T),故

pn(x=Wn)pn0=exp⁡(0.10.0259)≈47.5\frac{p_n(x=W_n)}{p_{n0}} =\exp\left(\frac{0.1}{0.0259}\right) \approx\boxed{47.5}

(三)nn 區的超額電洞濃度分布

nn 區電洞擴散係數與擴散長度為

Dp=μpVT=480(0.0259)=12.432 cm2/sD_p=\mu_pV_T=480(0.0259)=12.432\ \mathrm{cm^2/s}

Lp=Dpτp=12.432×10−6=3.525×10−3 cmL_p=\sqrt{D_p\tau_p} =\sqrt{12.432\times10^{-6}} =3.525\times10^{-3}\ \mathrm{cm}

接面邊界的超額電洞濃度為

Δpn(Wn)=pn0[exp⁡(VFVT)−1]\Delta p_n(W_n)=p_{n0}\left[\exp\left(\frac{V_F}{V_T}\right)-1\right]

在準中性 nn 區,超額少數載子以擴散長度 LpL_p 指數衰減。因此,x≥Wnx\ge W_n 時:

Δpn(x)=3.75×105[exp⁡(0.10.0259)−1]exp⁡[−x−Wn3.525×10−3 cm] cm−3\boxed{\Delta p_n(x) =3.75\times10^5\left[\exp\left(\frac{0.1}{0.0259}\right)-1\right] \exp\left[-\frac{x-W_n}{3.525\times10^{-3}\ \mathrm{cm}}\right]\ \mathrm{cm^{-3}}}

也可寫成

Δpn(x)≈1.744×107exp⁡[−x−Wn3.525×10−3 cm] cm−3\Delta p_n(x)\approx1.744\times10^7 \exp\left[-\frac{x-W_n}{3.525\times10^{-3}\ \mathrm{cm}}\right]\ \mathrm{cm^{-3}}

(四)WnW_n 處的電洞電流密度

由少數電洞的擴散電流:

Jp(Wn)=qDpdpndx∣Wn=qDpLpΔpn(Wn)J_p(W_n)=qD_p\left.\frac{dp_n}{dx}\right|_{W_n} =\frac{qD_p}{L_p}\Delta p_n(W_n)

代入 Δpn(Wn)≈1.744×107 cm−3\Delta p_n(W_n)\approx1.744\times10^7\ \mathrm{cm^{-3}}:

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第 三 題5 分

金屬/氧化層/半導體(MOS)結構元件,已知氧化層 SiO2\mathrm{SiO_2} 厚度為 100 nm100\ \mathrm{nm},其 εSiO2=3.9ε0\varepsilon_{\mathrm{SiO_2}}=3.9\varepsilon_0;pp 型矽之 NA=2×1014 cm−3N_A=2\times 10^{14}\ \mathrm{cm}^{-3},其 εSi=11.9ε0\varepsilon_{\mathrm{Si}}=11.9\varepsilon_0;ε0=8.85×10−14 F/cm\varepsilon_0=8.85\times 10^{-14}\ \mathrm{F/cm}。常溫下 kT/q=0.0259 VkT/q=0.0259\ \mathrm{V},q=1.6×10−19 Cq=1.6\times 10^{-19}\ \mathrm{C},ni=1.5×1010 cm−3n_i=1.5\times 10^{10}\ \mathrm{cm}^{-3}。熱平衡時,電洞濃度為

p0=niexp⁡(EFi−EFkT),p_0=n_i\exp\left(\frac{E_{Fi}-E_F}{kT}\right),

其中 EFiE_{Fi} 為本質費米能階,EFE_F 為 pp 型矽之費米能階。假設氧化層與介面均為理想,MOS 之平能帶(flat-band)電壓為 VFB=−0.5 VV_{FB}=-0.5\ \mathrm{V}。於某閘極偏壓 VGV_G 下,元件進入空乏區,矽表面剛好呈現本質(intrinsic)。假設此偏壓下空乏區內之電子與電洞濃度均遠小於 NAN_A。對 MOS 元件請求出:

(一)矽基板(substrate)之壓降 ϕs\phi_s。

(二)矽基板(substrate)空乏區總電荷量 QDQ_D。

(三)氧化層壓降 VOXV_{OX}。

(四)偏壓 VGV_G。

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核心觀念

本題考查 MOS 電容在空乏區的表面電位、空乏電荷與閘極偏壓關係。採用下列定義與公式:

  • 表面電位 ϕs\phi_s 表示矽表面能帶相對於矽基板本體的彎曲量。
  • 矽表面剛好呈現本質時,表面費米能階與表面本質費米能階重合。
  • 在均勻空乏近似下,空乏區電荷由 Poisson 方程求得;氧化層電壓降則由電荷除以單位面積氧化層電容求得。

以下的 QDQ_D 為單位面積空乏電荷,單位為 C/cm2\mathrm{C/cm^2};題目未提供元件面積,因此無法求整個元件的總電荷。

解題方法

(一)矽基板之壓降 ϕs\phi_s

由題目給定的熱平衡關係:

p0=niexp⁡(EFi−EFkT)p_0=n_i\exp\left(\frac{E_{Fi}-E_F}{kT}\right)

對於 pp 型基板,近似 p0≃NAp_0\simeq N_A,因此本體的能階差為

EFi−EF=kTln⁡(NAni).E_{Fi}-E_F=kT\ln\left(\frac{N_A}{n_i}\right).

表面呈現本質時,表面本質能階移至費米能階;其相對本體的能帶彎曲量即為表面電位:

ϕs=EFi−EFq=kTqln⁡(NAni).\phi_s=\frac{E_{Fi}-E_F}{q} =\frac{kT}{q}\ln\left(\frac{N_A}{n_i}\right).

代入數值:

ϕs=0.0259ln⁡(2×10141.5×1010)=0.246 V.\phi_s =0.0259\ln\left(\frac{2\times10^{14}}{1.5\times10^{10}}\right) =0.246\ \mathrm{V}.

因此,矽基板壓降為 ϕs=0.246 V\boxed{\phi_s=0.246\ \mathrm{V}}。

(二)矽基板空乏區電荷量 QDQ_D

空乏區內的電子與電洞濃度均遠小於 NAN_A,因此空乏區可視為均勻的受體離子電荷。其空乏電荷面密度為

QD=−2qεSiNAϕs.Q_D=-\sqrt{2q\varepsilon_{\mathrm{Si}}N_A\phi_s}.

負號表示空乏區留下帶負電的受體離子。先代入

εSi=11.9ε0=11.9(8.85×10−14)=1.05315×10−12 F/cm,\varepsilon_{\mathrm{Si}} =11.9\varepsilon_0 =11.9(8.85\times10^{-14}) =1.05315\times10^{-12}\ \mathrm{F/cm},

可得

QD=−2(1.6×10−19)(1.05315×10−12)(2×1014)(0.246)=−4.07×10−9 C/cm2.Q_D =-\sqrt{ 2(1.6\times10^{-19}) (1.05315\times10^{-12}) (2\times10^{14}) (0.246) } =-4.07\times10^{-9}\ \mathrm{C/cm^2}.

故空乏電荷面密度為

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第 四 題6 分

對於 npnnpn 雙極性接合面電晶體(BJT)操作於順向作用區,元件之射極—基極間加上順偏,理論上流過空乏區之電子與電洞電流分別為 JnEJ_{nE} 與 JpEJ_{pE},另考慮順偏壓時之額外復合電流 JRJ_R。元件之基極—集極間加上反偏,理論上流過空乏區之電子與電洞電流分別為 JnCJ_{nC} 與 JpC0J_{pC0},另考慮反偏壓時之額外產生電流 JGJ_G。請以上述相關電流符號列式表示 BJT 元件與下列參數之關係:

(一)直流共基極電流增益(dc common-base current gain)α0\alpha_0。

(二)小信號共基極電流增益(small signal common-base current gain)α\alpha。

(三)基極電流 JBJ_B。

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核心觀念

本題考查 BJT 順向作用區的電流成分與電流增益定義。順向作用時,射極—基極接面順偏,基極—集極接面反偏。射極接面的注入電流中,只有一部分成為集極電流;其餘部分會由基極端流出,並包含順偏接面額外復合電流。集極端的反偏接面則另有少量電子電流、電洞電流及額外產生電流。

以下以各電流分量的大小表示,並採用直流共基極增益定義 α0=JC/JE\alpha_0=J_C/J_E,小信號共基極增益定義 α=dJC/dJE\alpha=dJ_C/dJ_E。

解題方法

射極端總電流為射極接面順偏所造成的電子與電洞電流之和,再加上額外復合電流:

JE=JnE+JpE+JRJ_E=J_{nE}+J_{pE}+J_R

集極端總電流包括由射極注入並到達集極的電子電流,以及集極反偏接面的電子、電洞與額外產生電流:

JC=JnE+JnC+JpC0+JGJ_C=J_{nE}+J_{nC}+J_{pC0}+J_G

因此,直流共基極電流增益為

α0=JCJE=JnE+JnC+JpC0+JGJnE+JpE+JR\boxed{\alpha_0= \frac{J_C}{J_E} = \frac{J_{nE}+J_{nC}+J_{pC0}+J_G} {J_{nE}+J_{pE}+J_R}}

小信號增益是工作點附近集極電流對射極電流的微分比。反偏集極接面的少數載子電流與產生電流在固定偏壓下近似為常數,微分時不納入增量電流;順偏射極接面的擴散電流與復合電流則會隨輸入變動。因此

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