114 高普考高考二級 電子工程 電子元件 考古題詳解

114 年・高普考・高考二級・電子工程
試題代碼 電子元件

第 一 題20 分

在一半導體中,只考慮電子的漂移電流密度以及電洞的擴散電流密度,且此兩者之總和為一常數。

假設電子濃度為 2×1016 /cm32\times10^{16}\ /\mathrm{cm}^3,電洞濃度為

p(x)=1015e−x/L /cm3,x≥0,p(x)=10^{15}e^{-x/L}\ /\mathrm{cm}^3,\quad x\geq 0,

其中 L=0.0015 cmL=0.0015\ \mathrm{cm}。已知電洞的擴散係數為 15 cm2/s15\ \mathrm{cm}^2/\mathrm{s},電子的移動率為 1500 cm2/(V⋅s)1500\ \mathrm{cm}^2/(\mathrm{V}\cdot\mathrm{s})。

總電流密度是 9.6 A/cm29.6\ \mathrm{A}/\mathrm{cm}^2。寫出:

(一) 電洞擴散電流密度。

(二) 電場的表示式。

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核心觀念

本題運用兩種電流密度的基本公式:

  • 電洞擴散電流密度:Jp,diff=−qDpdpdxJ_{p,\mathrm{diff}}=-qD_p\dfrac{dp}{dx}。
  • 電子漂移電流密度:Jn,drift=qnμnEJ_{n,\mathrm{drift}}=qn\mu_n E。

其中 q=1.6×10−19 Cq=1.6\times10^{-19}\ \mathrm{C}。題目給定兩者的總和為常數,因此 Jtotal=Jn,drift+Jp,diffJ_{\mathrm{total}}=J_{n,\mathrm{drift}}+J_{p,\mathrm{diff}}。

解題方法

先由電洞濃度分布求梯度:

p(x)=1015e−x/L,dpdx=−1015Le−x/L.p(x)=10^{15}e^{-x/L},\qquad \frac{dp}{dx}=-\frac{10^{15}}{L}e^{-x/L}.

代入 L=0.0015 cmL=0.0015\ \mathrm{cm} 及 Dp=15 cm2/sD_p=15\ \mathrm{cm^2/s}:

Jp,diff(x)=−qDpdpdx=qDp1015Le−x/L=(1.6×10−19)(15)10150.0015e−x/0.0015=1.6e−x/0.0015 A/cm2.\begin{aligned} J_{p,\mathrm{diff}}(x) &=-qD_p\frac{dp}{dx}\\ &=qD_p\frac{10^{15}}{L}e^{-x/L}\\ &=(1.6\times10^{-19})(15) \frac{10^{15}}{0.0015}e^{-x/0.0015}\\ &=1.6e^{-x/0.0015}\ \mathrm{A/cm^2}. \end{aligned}

再利用總電流密度為 9.6 A/cm29.6\ \mathrm{A/cm^2},電子漂移電流密度為

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第 二 題20 分

在熱平衡下的同一半導體之單邊陡峭 p+−np^+-n 接面,若受體濃度遠大於施體濃度:

(一) 繪出其空間電荷分布圖,於圖上標示空乏區,並寫出空乏區公式。(7 分)

(二) 繪出其電場分布圖,於圖上標示最大電場,並寫出最大電場計算式。(7 分)

(三) 以中性 pp 區的零電位作為參考點(在距離 x=0x=0 的電位為零),繪出其電位分布圖,於圖上標示內建電位,並寫出電位隨 xx 變化之式子。(6 分)

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核心觀念

本題考單邊陡峭 p+−np^+-n 接面的空乏近似。令 NA≫NDN_A\gg N_D,則電荷中性條件要求

NAxp=NDxnN_Ax_p=N_Dx_n

因此 xp≪xnx_p\ll x_n:空乏區主要延伸至低摻雜的 nn 區。空乏區內的空間電荷密度由摻雜離子決定;電場由 Poisson 方程求得,電位則由 E=−dV/dxE=-dV/dx 積分而得。

設介電常數為 εs\varepsilon_s,並取 x=0x=0 為 pp 側空乏區邊界、接面為 x=xpx=x_p、nn 側空乏區邊界為 x=xp+xnx=x_p+x_n。中性 pp 區電位定為零。

解題方法

(一)空間電荷分布與空乏區公式

空乏區中的可動載子已被排空,留下固定的受體負離子與施體正離子:

ρ(x)={−qNA,0<x<xp+qND,xp<x<xp+xn0,其他區域\rho(x)= \begin{cases} -qN_A, & 0<x<x_p\\ +qN_D, & x_p<x<x_p+x_n\\ 0, & \text{其他區域} \end{cases}

示意圖如下,正負號表示空間電荷密度的正負:

 ρ(x)
 ↑
+qND│ ┌──────────┐
 │ │ │
 0 ┼───────┐ │ └────────→ x
 │ │ │
−qNA│ └──────────┘
 └───────┬──────────┬──────────┬────────
 0 xp xp+xn
 p 側邊界 接面 n 側邊界
 ←─ xp ─→ ←─── xn ───→

空乏區總寬度 W=xp+xnW=x_p+x_n。由電荷中性條件及內建電位 VbiV_{bi} 可得

NAxp=NDxnN_Ax_p=N_Dx_n W=2εsVbiq(1NA+1ND)W=\sqrt{\frac{2\varepsilon_sV_{bi}}{q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)} xp=NDNA+NDW,xn=NANA+NDWx_p=\frac{N_D}{N_A+N_D}W,\qquad x_n=\frac{N_A}{N_A+N_D}W

其中熱平衡下的內建電位為

Vbi=kTqln⁡(NANDni2)V_{bi}=\frac{kT}{q}\ln\left(\frac{N_AN_D}{n_i^2}\right)

當 NA≫NDN_A\gg N_D 時,

xp≪xn,W≃xn≃2εsVbiqNDx_p\ll x_n,\qquad W\simeq x_n\simeq \sqrt{\frac{2\varepsilon_sV_{bi}}{qN_D}}

(二)電場分布與最大電場

由 Poisson 方程 dE/dx=ρ/εsdE/dx=\rho/\varepsilon_s,並使用空乏區邊界電場為零,得

E(x)={−qNAεsx,0≤x≤xp−qNDεs(xp+xn−x),xp≤x≤xp+xn0,其他區域E(x)= \begin{cases} -\dfrac{qN_A}{\varepsilon_s}x, & 0\le x\le x_p\\[6pt] -\dfrac{qN_D}{\varepsilon_s}(x_p+x_n-x), & x_p\le x\le x_p+x_n\\[6pt] 0, & \text{其他區域} \end{cases}
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第 三 題20 分

對於在高垂直電場下的金屬–絕緣體–半導體結構,反轉層電子的運動在垂直於半導體表面的方向受到侷限,形成二維電子氣(2DEG)。

(一) 從古典以及量子力學觀點畫出電子濃度從絕緣體–半導體界面深入半導體基底的分布圖,並說明之。(10 分)

(二) 詳述此量子侷限效應對於金屬氧化物半導體場效應電晶體(MOSFET)臨界電壓之影響。(10 分)

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核心觀念

本題考查 MOS 反轉層的量子侷限效應:高垂直電場使半導體表面附近的能帶彎曲,形成近似三角形的位能井。電子沿平行表面的方向可自由移動,但垂直表面的方向受到侷限,因此垂直方向的能量量子化,形成二維電子氣(2DEG)。

令 xx 為自絕緣體–半導體界面向半導體內部的距離。比較古典與量子模型時,關鍵是電子濃度在界面處的行為:

  • 古典模型將電子視為可連續分布,濃度在界面附近最大,向基底內部逐漸下降。
  • 量子模型要求電子波函數滿足界面邊界條件;在理想無限高位能障近似下,界面處波函數為零,因此電子濃度也為零,並在界面內側形成峰值。

解題方法

(一)電子濃度分布

以下示意電子濃度 n(x)n(x) 隨深入半導體距離 xx 的變化;橫軸為距離,縱軸為電子濃度:

電子濃度 n(x)
↑
│ 古典:●╲
│ │ ╲
│ │ ╲____
│ │
│ │ 量子: ╱╲
│ │ ╱ ╲____
│ │________╱
└───────┼────────────────→ x(深入半導體)
 界面

古典觀點:​在高垂直電場下,表面能帶向下彎曲,電子被吸引至表面附近。若以非簡併統計描述,局部電子濃度可寫成

n(x)=niexp⁡ ⁣(EF−Ei(x)kT),n(x)=n_i\exp\!\left(\frac{E_F-E_i(x)}{kT}\right),

其中 Ei(x)E_i(x) 是位置 xx 的本質能階。表面附近的能帶彎曲使電子濃度最大;往基底內部,能帶逐漸回復,電子濃度隨之下降。古典模型沒有考慮電子波動性,因而預測電子可一直聚集到界面,呈現界面最大、向內衰減的分布。

量子觀點:​電子在垂直方向的波函數 ψj(x)\psi_j(x) 需滿足薛丁格方程,且在界面位能障處受邊界條件限制。理想位能障近似下,界面處有 ψj(0)=0\psi_j(0)=0,故電子濃度

n(x)=∑jns,j∣ψj(x)∣2n(x)=\sum_j n_{s,j}\lvert\psi_j(x)\rvert^2

在界面為零;離開界面後逐漸增加,在某個有限距離處達到峰值,再向基底內部衰減。此處 jj 表示垂直方向的量子子能帶,ns,jn_{s,j} 為該子能帶的面電子濃度。電子仍集中於表面附近,但其電荷重心位於半導體內部,與古典預測不同。

實際界面的有限位能障會使波函數延伸至氧化層,分布不會完全符合理想邊界條件;考試作圖以「界面濃度為零、半導體內側有峰值」呈現量子侷限的典型差異。

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第 四 題20 分

雙極性接面電晶體(BJT)依據集極–基極接面(當成 xx 軸)與射極–基極接面(當成 yy 軸)的電壓極性,可以分為四種操作模式,分別是:

(1) 飽和(Saturation)模式。

(2) 順向主動(Active)模式。

(3) 截止(Cutoff)模式。

(4) 反轉主動(Inverted)模式。

以 pnppnp 雙極性接面電晶體為例,在 xx–yy 平面上,以四種象限寫出上述四種操作模式下的接面極性,畫出基極區少數載子分布圖,並說明之。(20 分)

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核心觀念

本題考查 BJT 的四種操作模式,判斷依據是射極–基極(E–B)與集極–基極(C–B)接面的偏壓方向,以及這些偏壓如何決定基極區少數載子的分布。

以 pnppnp 電晶體為例,射極與集極為 pp 型,基極為 nn 型,因此基極區的少數載子是電洞。以下定義

x=VCB=VC−VB,y=VEB=VE−VBx=V_{CB}=V_C-V_B,\qquad y=V_{EB}=V_E-V_B

在此電壓定義下,pp 側電位高於 nn 側時,接面順向偏壓。因此,VCB>0V_{CB}>0 表示 C–B 接面順偏,VEB>0V_{EB}>0 表示 E–B 接面順偏。

設基極中性區由射極端至集極端的位置為 z=0z=0 至 z=WBz=W_B,平衡少數電洞濃度為 pn0p_{n0}。在理想接面近似下,兩端的少數電洞濃度為

pn(0)=pn0eVEB/VT,pn(WB)=pn0eVCB/VTp_n(0)=p_{n0}e^{V_{EB}/V_T},\qquad p_n(W_B)=p_{n0}e^{V_{CB}/V_T}

其中 VT=kT/qV_T=kT/q 為熱電壓。順偏使接面邊緣的少數載子濃度高於平衡值;反偏則使其低於平衡值。基極區的濃度分布可用兩端邊界值連成示意曲線。

解題方法與四種操作模式

先判斷兩個接面的偏壓,再依序標出四種模式所在象限。橫軸是 VCBV_{CB},縱軸是 VEBV_{EB},所以正、負號直接代表該接面順偏、反偏。

操作模式象限C–B 接面E–B 接面
飽和(Saturation)第一象限:x>0, y>0x>0,\ y>0順偏順偏
順向主動(Active)第二象限:x<0, y>0x<0,\ y>0反偏順偏
截止(Cutoff)第三象限:x<0, y<0x<0,\ y<0反偏反偏
反轉主動(Inverted)第四象限:x>0, y<0x>0,\ y<0順偏反偏

四種模式的象限與基極少數電洞濃度分布如下。圖中 pn0p_{n0} 是平衡濃度基準線,曲線只表示示意趨勢。

(1) 飽和模式:兩接面皆順偏

兩端的少數電洞濃度都高於 pn0p_{n0}。曲線連接射極端與集極端的高濃度值;兩端偏壓不同時,曲線會向濃度較低的一端下降。

V_EB
 ↑
 │ (1) 飽和
 │ y>0
 ├──────────────→ V_CB
 │ x>0
 │
基極少數電洞濃度 p_n(z):
高 ●────────● 高
 射極端 集極端
 0 W_B

(2) 順向主動模式:E–B 順偏、C–B 反偏

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第 五 題20 分

說明短通道效應對於金屬氧化物半導體場效應電晶體的下列特性之影響:

(1) 導通電流(IonI_{\mathrm{on}})。

(2) 截止電流(IoffI_{\mathrm{off}})。

(3) 臨界電壓(VTV_T)。

(4) 次臨界擺幅(SS)。

(5) 汲極導致位障下降(DIBL)。

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核心觀念

短通道效應是指 MOSFET 的閘極長度縮短後,汲極與源極的電場更深入通道,閘極對通道電位與位障的控制能力變弱。其結果包括臨界電壓隨通道縮短而改變、汲極電壓影響源極端位障,以及關閉狀態的漏電增加。

以下比較方向以 n 型 MOSFET、其他偏壓與製程條件相同,且通道長度縮短 為準。短通道下的各項效應彼此相關,但不是每一項都能只用「電流變大或變小」概括。

解題方法

逐項判斷時,先看通道縮短後閘極控制力的變化,再連結到導通、截止兩種操作狀態:

  • 導通時,關注臨界電壓降低與高電場造成的載子速度飽和。
  • 截止時,關注臨界電壓降低、次臨界特性變差,以及汲極電壓對源極端位障的影響。
  • 臨界電壓與 SS 描述不同特性:臨界電壓是形成強反轉所需的閘極電壓;SS 則是次臨界區漏電流每增加十倍所需的閘極電壓增量。

各項特性分析

(1) 導通電流 IonI_{\mathrm{on}}

短通道通常使 VTV_T 降低;在相同閘極電壓下,過驅電壓 VGS−VTV_{GS}-V_T 增加,因此傾向使 IonI_{\mathrm{on}} 上升。長通道平方律模型可表示為

ID≈12μCoxWL(VGS−VT)2I_D \approx \frac{1}{2}\mu C_{\mathrm{ox}}\frac{W}{L}(V_{GS}-V_T)^2

但在短通道器件中,電場增強會使載子速度飽和,電流不再依平方律持續增加。因此較精確的結論是:短通道效應通常使 IonI_{\mathrm{on}} 增加或使其不再隨縮短而按長通道模型增加;實際增加幅度受速度飽和等效應限制。

(2) 截止電流 IoffI_{\mathrm{off}}

截止時 VGS<VTV_{GS}<V_T,仍有次臨界電流。其大小近似呈指數關係:

ID∝exp⁡(VGS−VTnVth)I_D \propto \exp\left(\frac{V_{GS}-V_T}{nV_{\mathrm{th}}}\right)

其中 Vth=kT/qV_{\mathrm{th}}=kT/q,nn 為次臨界因子。短通道造成 VTV_T 降低、SS 變差,且高汲極電壓下 DIBL 會進一步降低有效臨界電壓,因此 IoffI_{\mathrm{off}} 增加。

(3) 臨界電壓 VTV_T

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